Точността на електронните и оптичните микроскопи варира в зависимост от вида и дизайна, както следва:
Прецизност на електронната микроскопия
Трансмисионна електронна микроскопия (ТЕМ): Понастоящем точността на разделителната способност на трансмисионната електронна микроскопия е в състояние да разграничи структури под 0,2 μm, а полярната гранична разделителна способност може да достигне 0,1 nm. Например, някои добри трансмисионни електронни микроскопи имат разделителна способност от 1,5 до 2 Å (1 Å = 0,1 nm), което позволява разграничаване на почти всички атоми.
Сканираща електронна микроскопия (SEM): Обикновено се постига пространствена резолюция от 1 μm³, въпреки че прецизността може да варира в зависимост от вида на оборудването и условията на наблюдение.
Точност на светлинната микроскопия
Обща оптична микроскопия: нейната гранична разделителна способност обикновено е около 250 nm, което е 1 милион пъти по-високо от разделителната способност на човешкото око (0,25 mm). Разделителната способност и увеличението на оптичната микроскопия обаче могат да бъдат значително подобрени чрез използване на високопрецизни лещи и оптични техники.
Високопрецизен оптичен микроскоп: като например оптичния дигитален микроскоп, неговата точност на разделителна способност може да достигне 0,1 μm, увеличение до 5000 пъти. Освен това съществуват високопрецизни аналитични инструменти, базирани на принципа на интерференцията на бялата светлина, като например триизмерна оптична микроскопия, която може да постигне измерване на повърхностна топография с субнанометрова разделителна способност.
Специална оптична микроскопия: като например оптична наноскопия с точност на позициониране от 2 nm, като например технологията MINFLUX, отбелязваща официалното навлизане на микроскопията с наномащабна резолюция в областта на изследванията в областта на науките за живота.
Време на публикуване: 01 ноември 2025 г.

